Настольный прибор для комплексного контроля и измерения механических свойств микро- и наноструктурированных материалов, тонких фольг и пленок, а также покрытий и упрочняющих слоев толщиной от 0,01 до 100 мкм. Реализует методы наноиндентирования и царапания (скретч-тест). Полностью автоматизированное выполнение измерений, моторизованный предметный столик для перемещения образца, оптический микроскоп высокого разрешения с цифровой камерой позволяют максимально упростить технологический контроль и исследования в нанометровом диапазоне. Отличительные особенности: - метод измерительного индентирования позволяет определять твердость по невосстановленному отпечатку путем измерения зависимости нагрузки от внедрения и обладает следующими преимуществами:
-не требует измерения размеров отпечатка оптическим микроскопом; -позволяет измерять модуль упругости, коэффициент упругого восстановления и другие механические параметры; - полнофункциональный метод царапания (скретч-тест) и метод измерительного индентирования реализованы на одной измерительной головке, что дает возможность проведения комплексного контроля параметров пленок, покрытий и упрочняющих слоев;
- цифровой оптический микроскоп высокого разрешения с переменным увеличением позволяет выполнять оперативный контроля полученных отпечатков/царапин в выбранной области измерений;
- наличие моторизованной системы перемещения образца (предметного столика) дает возможность проведения серии измерений в автоматическом режиме на заданном участке поверхности исследуемого образца, с целью получения большой статистической выборки результатов;
- прибор не требует применения специальных мер акустической и виброзащиты.
- Измерительная установка;
- рабочая станция;
- сменные зонды;
- cтандартные образцы твердости;
- паспорт, совмещенный с руководством по эксплуатации;
- свидетельство о поверке/калибровке;
- оптический микроскоп с переменным увеличением;
- цифровая видеокамера.
Диапазон прикладываемой нормальной (вертикальной) нагрузки | До 1000 мН (~100 г) | Разрешение по нагрузке | 10 мкН | Диапазон измерения твердости(HIT) | 1000 ... 60 000 Н/мм2 (~100 ... 6000 HV) | Диапазон измерения модуля упругости | 10 ... 1000 ГПа | Диапазон перемещения индентора (макс.) | 100 мкм | Разрешение перемещения индентора | 1 нм | Параметры царапания (скретч-тест) | | Разрешение латеральной силы | 10мкН | Максимальная длина царапины | 50 мм | Система перемещения | | Размер исследуемых образцов (макс.) | 100х100х30 мм | Диапазон перемещения предметного столика | 50х50 мм | Шаг перемещения предметного столика | 100 нм/30 нм | Цифровой оптический микроскоп х7 Zoom | | Поле зрения | 1.2X1.6 ÷ ~0.18X0.24 | Оптическое разрешение | 5 мкм | Цифровая камера | 5МПиксел | Размеры измерительной установки | | Габариты (ШхВхГ) | 330х354х250 | Масса | 21,5 кг | Условия эксплуатации прибора и требования к образцам Конструкция прибора разработана таким образом, чтобы минимизировать влияние внешних воздействий на измерения. Однако необходимо помнить, что прецизионные измерения в микро и нанометровом диапазоне требуют особого подхода к условиям эксплуатации прибора и подготовке образцов. Требования к условиям эксплуатации: - прибор должен размещаться на горизонтальной жесткой опоре, исключающей вибрации. Рекомендуется разместить прибор отдельно от рабочего места оператора;
- в рабочем помещении должны отсутствовать шум и низкочастотные вибрации;
- диапазон рабочих температур: 25+/-10 °C, влажность до 75%. Температура в помещении в процессе измерений должна меняться более чем на 1 °С (желательна система кондиционирования воздуха);
- во время измерений прибор должен быть изолирован от воздействия воздушных потоков (сквозняков, вентиляции и пр.).
Требования к образцам: - необходимо обеспечить тщательную очистку поверхности в области измерений от всех загрязнений (включая отпечатки пальцев). Для очистки рекомендуется пользоваться спиртом или другими растворителями, не оставляющими осадка и разводов;
- при подготовке образца шероховатость поверхности в области измерений должна быть существенно меньше глубины индентирования или царапания;
- поверхность в области измерений должна располагаться горизонтально. Если образцы помещаются непосредственно на предметный стол, то их грани должны быть плоскопараллельны. В противном случае необходимо использовать специальные держатели;
- образцы должны быть жесткие. Тонкие пластины должны быть закреплены на жесткой подложке.
|